亚洲世预赛中国/奥涅乌/虎扑篮球nba比赛中心/韩国vs巴西国际友谊赛 - 美国篮球国家队名单

近日，微電子所新技術開發部微系統技術實驗室焦斌斌研究員團隊的“緊湊型數字電容式MEMS三軸一體加速度傳感器關鍵技術及產業化”項目，在中國儀器儀表學會2022年度項目評選中榮獲“科技進步一等獎”。

　　自2011年起，焦斌斌團隊與西安交通大學、蘇州明皜傳感科技有限公司合作開展MEMS三軸一體加速度傳感器的關鍵技術及產業化工作，開發了多項MEMS關鍵工藝，設計了全套MEMS工藝監測方法與圖形體系，保證了MEMS芯片的高良率（＞98%）生產。專家組一致認為，該成果技術復雜、創新性強、工藝難度大，核心制造工藝與質量監控方法具有自主知識產權，其中鋁鍺共晶鍵合顆粒溢出檢測、微小腔體氣密性檢測等在線工藝質量監控技術達國際水平。

　　基于該技術的相應產品性能達博世、ST等國際龍頭企業對應型號水平，獲得業內眾多行業龍頭標桿客戶認可，不僅批量應用于榮耀、小米、傳音等國內一線品牌的電子產品，還進入美國谷歌、韓國三星等國際知名企業。目前，該加速度傳感器產品市場占有率位居國內市場前三、全球市場前五，正逐漸改變微型三軸加速度傳感器的國際市場格局。