- 什么是 MEMS 傳感器？類型、應用
- 來源：賽斯維傳感器網 發表于 2022/11/3
在本教程中，我們將了解一種稱為 MEMS 的有趣技術。我們將看到 MEMS 的一些基本概念，并以 MEMS 傳感器的形式了解 MEMS 的應用。我們還將了解不同類型的 MEMS 傳感器和一些當前應用。
什么是微機電系統？
MEMS 是 Micro Electro Mechanical Systems 的縮寫。它是一種與制造微型設備相關的技術，如傳感器、傳感器、執行器、齒輪、泵、開關等。
換句話說，MEMS 是一種微觀集成設備，它是電子、電氣和機械元件的組合，所有這些都使用一種稱為微系統技術 (MST) 的技術共同工作以滿足單一的功能要求。
MEMS技術被認為是傳統集成電路（IC）制造的擴展形式。傳統 IC 制造技術 (VLSI) 與 MEMS 的主要區別在于，使用 MEMS 不僅可以制造電容器和電感器等電氣元件，還可以制造齒輪、彈簧、梁等機械部件。使用傳統 IC 技術，您只能制造導體、絕緣體、二極管和晶體管。
這些基于 MEMS 的設備的尺寸通常為幾微米（在 1 到 100 微米之間）。
另一個需要記住的重要一點是，MEMS 是借助先進的 IC 制造技術將有源和無源元件集成到單個硅基板中。有源元件是傳感器和執行器，而無源元件是無源電子系統和無源機械系統。
由放大器、ADC、濾波器等信號處理電路組成的電子系統采用IC制造工藝設計，而由齒輪、曲柄、軸承等組成的機械系統采用微加工工藝設計。
什么是 MEMS 傳感器？
傳感器是當今數字世界的重要組成部分之一。由于所有的計算和處理都是在數字信號上完成的，所以在模擬世界和數字電子設備之間應該有一個媒介。傳感器彌合了這一差距，因為它們用于觀察模擬物理參數的時間效應并產生有意義的信息（對計算機）。
傳感器的現代定義有時令人困惑，但簡單來說，傳感器是一種包含基本傳感元件的設備，這些傳感元件可以感知溫度或濕度等物理量并將其轉換為電信號。傳感器還包括信號處理單元，如放大器、濾波器或 ADC 或這些元件的組合。
談到 MEMS 傳感器，如果傳感器是使用 MEMS 技術設計和制造的，那么它被稱為微機械微傳感器或簡稱為 MEMS 傳感器。
如果您還記得我們的手勢控制機器人，我們使用的是 MPU6050 IC。它包含一個 3 軸加速度計、一個 3 軸陀螺儀和一個數字運動處理器。它是使用 MEMS 技術制造的。
不同類型的 MEMS 傳感器
MEMS技術的主要實施者之一是汽車行業�，F代汽車使用大量傳感器，其中大多數是基于 MEMS 的設備。以下是現代汽車中使用的 MEMS 傳感器列表。
加速度計——用于電子穩定控制和安全氣囊展開。
慣性測量單元或 IMU（它們是 MEMS 加速度計和 MEMS 陀螺儀的組合）——用于測量自動駕駛的偏航、俯仰和滾動。
磁力計 - 用于導航的方向。
壓力和慣性傳感器——用于制動控制。
壓力傳感器——胎壓監測系統。
氣流傳感器 - 進氣監控。
燃油傳感器——燃油液位指示器。
撞擊和碰撞傳感器——撞擊檢測和安全氣囊展開。
MEMS 麥克風——用于通信和降噪。
溫度傳感器——用于自動氣候控制和發動機溫度監測。
還有許多其他基于 MEMS 的設備可用于各種應用。
應用
MEMS 傳感器已被用于各種應用，例如控制和處理設備、管理機器人、汽車、夾具等。您可以在現代噴墨打印機、彩色投影儀、顯示系統、時鐘和掃描設備中找到這些傳感器。
MEMS 技術用于制造不同的傳感器，如壓力、溫度、振動和化學傳感器。
加速度計、陀螺儀、電子羅盤等是汽車、直升機、飛機、無人機和船舶中常用的一些 MEMS 傳感器。
下面提到了基于 MEMS 的傳感器的一些應用領域：
汽車
化學制藥
飛機
工業自動化與制造
國防、航天和航空
環境與健康科學
計算和通信
消費產品
概括
將傳感器、執行器、電氣（和電子）和機械設備集成到單個芯片中的概念被認為是突破性技術之一。MEMS 技術將支持開發具有微傳感器、控制或微執行器感知以及微電子計算能力的智能設備。
MEMS 技術在其應用和所涉及的研究領域方面極為多樣化（物理、電子、電氣、化學、材料科學和制造是 MEMS 設計和開發所涉及的一些分支）。
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