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- 不同類型的壓力傳感器芯體簡介
- 來源：賽斯維傳感器網(wǎng) 發(fā)表于 2014/8/20
壓力傳感器的芯體材料主要是穩(wěn)定性方面的技術(shù)要求，除了材料性質(zhì)以外，還有版圖的設(shè)計(jì)，加工工藝和裝配工藝等方面的要求。壓力傳感器芯體從材料上來講，主要有：單晶硅的芯體、多晶硅的芯體、陶瓷的芯體、水晶的芯體、金屬的芯體、聚酰亞胺的芯體等等。
單晶硅芯體的壓力傳感器，單晶硅膜的SOI結(jié)構(gòu)，能夠承載較高的工作溫度，較好的工作靈敏度，微機(jī)械處理單晶硅，可以提高穩(wěn)定性和再現(xiàn)性，消除滯后現(xiàn)象。
多晶硅的芯體的壓力傳感器，在二氧化硅層上淀積多晶硅膜，既利用了硅優(yōu)良的機(jī)械特性，又保證了壓敏電阻與襯底間良好的絕緣性，大大提高了器件的溫度特性。
陶瓷芯體的壓力傳感器，超過100萬次壓力循環(huán)，極低的溫度漂移，優(yōu)良的線性精度，300%的過載壓力，線性精度和過載壓力都有良好的性能體現(xiàn)。
水晶芯體的壓力傳感器，采用音叉型晶體單元，由此可以得到安定度高的振蕩頻率，從而實(shí)現(xiàn)了具有高精度及高分辨能力。
采用聚酰亞胺芯體的壓力傳感器，相對電阻變化與壓力呈良好的線性關(guān)系，可以實(shí)現(xiàn)較高精度的壓力測量。
最后，隨著傳感器行業(yè)的技術(shù)革新和發(fā)展，相信會有更多的新材料新工藝的引進(jìn),到時壓力傳感器的性能將有極大的提高。
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