- 壓阻式壓力傳感器基本工作原理及特點
- 來源:賽斯維傳感器網 發表于 2014/7/15
1、壓阻式壓力傳感器的工作原理
壓阻式壓力傳感器是由平面應變傳感器發展起來的一種新型壓力傳感器。它以硅片作為彈性敏感元件,任該膜片上用集成電路擴散工藝制成四個等值導體電阻,組成惠斯登電矯,當膜片受力后、由于半導體的壓阻效應.電阻值發生變化,使電橋輸出而測得壓力的變化,利用這種方法制成的壓力傳感器叫壓阻式壓力傳感器。
相似于電阻應變式傳感器
其中
金屬電阻應變片的靈敏度系數主要利用 的應變效應,而半導體應變片主要利用電阻率 的變化,這就是壓阻式壓力傳感器的基本原理,它是利用壓阻效應的結果。
2、壓阻式壓力傳感器的特點
結構簡單、可微型化。
壓阻式壓力傳感器的優點:
可測高頻
靈感度高
精度高
受溫度影響大
壓阻式壓力傳感器的缺點:
量程小
不耐腐蝕
工藝復雜
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