- MEMS傳感器技術發(fā)展趨勢
- 來源：賽斯維傳感器網 發(fā)表于 2013/10/21
隨著汽車電子、消費電子和醫(yī)療電子等行業(yè)的快速發(fā)展，市場對傳感器的需求呈現出快速增長的態(tài)勢。隨著感應接口的需求不斷增加，消費領域對MEMS傳感器需求也不斷增長，智能手機和汽車領域對MEMS傳感器的需求也在不斷增大，這也將成長出越來越多的MEMS廠商，給MEMS市場帶來更加激勵的競爭和技術的不斷改進和提升。
在這些背景下，MEMS傳感器技術得到了快速的發(fā)展。與傳統(tǒng)的傳感器技術相比，MEMS技術生產的傳感器的特點是體積小、重量輕、成本低、能耗低、可靠性高、易于批量生產、智能化高�，F在正處于高速發(fā)展期MEMS技術在未來的發(fā)展主要表現在以下幾個方面：
第一，微型化的同時降低功耗，將會出現微米甚至納米級別的微型器件，同時功耗不斷降低；
第二，微型化的同時提高精度，如：將MEMS加速度傳感器做到石英加速度傳感器的噪聲特性，保證MEMS陀螺儀小體積的同時獲得光纖陀螺儀的零偏穩(wěn)定性，且可提供遠優(yōu)于光纖陀螺儀的抗沖擊特性；
第三，集成化及智能化趨勢，即MEMS傳感器與IC的集成制造技術及多參量MEMS傳感器的集成制造技術得到發(fā)展，以及在集成化基礎上使得信號檢測具有一定的自動化。
這些趨勢要求半導體廠商提供更高精度、穩(wěn)定性更好、更智能的高集成度MEMS傳感器模塊。例如，手機設備日漸趨向于使用組合傳感器，單一的加速度傳感器市場正在減小。小型器件的需求強勁，部分原因源于低端智能手機對6軸電子羅盤的需求增長。現在6軸慣性測量單元（IMU）的需求非常強烈，9軸組合傳感器的需求也將在未來幾年內上來，這些來自消費領域的推動力迫使MEMS廠商采取新的策略，不斷提高傳感器的集成度。
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