- MEMS傳感器標準近在眼前
- 來源：賽斯維傳感器網 發表于 2013/7/23
2013年MEMS傳感器市場需求十分旺盛，除了傳統的消費電子和汽車市場的應用，在醫療、通信、工業、乃至軍工方面的需求也不斷拓寬。根據權威機構預測，在未來五年內，MEMS將以每年20%增長。
由于MEMS沒有已經成熟的標準化工藝，當前許多產線往往只能做到一個產品一種工藝，小批量、高成本，這顯然無法滿足逐漸爆發的MEMS市場需求。于是，關于MEMS工藝的標準化的話題也逐漸升溫。
從MEMS整體生態系統來看，標準化是一個復雜的、充滿挑戰性和爭議性的話題。
MEMS市場需求的多樣化特點決定了加工的多樣化，加工特點又決定了很難用一套標準的工藝來滿足所有需求。標準化可能讓一些廠商原有的專利變得分文不值，不得不按照業內標準進行改造，對于技術創新也會形成限制和約束。
然而，標準化可以幫助設計師、制造商、晶圓廠、鑄造廠等利用他人的進步技術，避免重復設計。從大方向來看，標準化仍然是大趨勢。而如何平衡標準化與差異化，逐漸地、分層級地實現標準化，避免產品的千篇一律是一大考驗。
今年5月2日，MEMS產業集團(MIG)就聯合英特爾、高通等眾多一線半導體廠商發布了最終規范版的《標準化傳感器性能參數規格(Standardized Sensor Performance Parameter Definitions)》(以下簡稱“SPD”)，提供定義傳感器性能參數的標準方法，以簡化系統集成的工作量并加快產品上市速度。
規范明確規定傳感器性能技術術語、單位、條件和極限的統一框架，是一種 ‘動態文件’;可隨著新的傳感器在移動平臺架構中的使用進行補充和修訂;適用于傳感器供應商、獨立軟件開發商、平臺供應商和原始設備制造商;并且涵蓋了加速度傳感器、磁力計、陀螺儀/回轉儀、氣壓計/壓力傳感器、濕度計/濕度傳感器、溫度傳感器、環境光度傳感器(ALS) 、接近傳感器等各種MEMS傳感器。
我們注意到該規范只是對傳感器的一些基本規格進行了規范和定義，與此同時保留了產品的差異化和創新性，這也是充分尊重廠商創新性的表現。通過采用統一的參數規范，對于加快產品上市速度、減輕平臺/系統確認的工作量，以及簡化器件供應流程具有重要意義。
MIG及其成員企業正力促SPD的使用，許多器件制造商也已同意在今后的所有器件中使用SPD規定的技術規范，可以說這具有重要的歷史意義。
隨著市場的發展，這一規范也有望成為行業中的通行標準，由于具備大量優點，中國MEMS市場也將從中受益。然而到目前為止，這一事件并沒有在國內業界產生多大波瀾，這主要還是由于SPD還是一個參數規格的標準，并沒有涉及具體產品的實際性能指標。而為了獲得更多標準制定過程中的話語權，我國的MEMS產業協會也應積極與MIG建立聯系。
總體而言，當前MEMS產業仍然處于一個學習的曲線過程，筆者認為，目前來看，要推動MEMS制程技術的標準化仍需要好幾年的時間，如果要達到半導體產業所采用的CMOS技術一樣大規模標準化的水平，則需要更長的時間。
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